1、滲氮前的部件表面清洗

       大部分部件可以使用氣體去油法去油后進行氮化處理。但在滲氮前的加工方法若采用拋光、研磨、磨光等，可能產生阻礙滲氮的表面層，致使滲氮后，氮化層不均勻或發生彎曲等缺陷。此時宜采用方法去除表面層：（1）在滲氮前先以氣體去油。然后使用氧化鋁粉將表面作噴砂處理 。（2）將表面加以磷酸皮膜處理。

       2、滲氮爐的排除空氣

       將被處理部件置于滲氮爐中，并將爐蓋密封后就可以加熱，但加熱至150℃以前須作爐內排除空氣工作。主要功用是避免氨氣分解時與空氣接觸而發生爆裂性氣體，及免被處理物及支架的表面氧化。

       3、氨的分解率

       氮化處理是鋪及其他合金元素與初生態的氮接觸而進行，但初生態氮的產生，即因氨氣與加熱中的鋼料接觸時鋼料本身成為觸媒而增進氨的分解。

       4、冷卻

       大部份的工業用滲氮爐皆具有熱交換機，以期在滲氮工作完成后加以冷卻加熱爐及被處理部件。即滲氮完成后，將加熱電源關閉，使爐溫降低約50℃，然后將氨的流量增加一倍后開始啟開熱交換機。此時須注意觀察接在排氣管上玻璃瓶中，是否有氣泡溢出，以確認爐內之正壓。等候導入爐中的氨氣穩定后，就可以減少氨的流量至保持爐中正壓為止。當氮化處理設備的爐溫下降至150℃以下時，即使用前面所述之排除爐內氣體法，導入空氣或氮氣后方可啟開爐蓋。