真空熱處理爐不但可以用于普通工件的淬火、回火、退火和正火，而且可進行化學熱處理如真空滲碳(包括真空碳氮共滲)、真空離子滲碳和輝光離子滲氮等，同時可完成金屬的燒結、釬焊和真空鍍膜等。
　　真空熱處理爐的種類有很多種，不同種類的真空爐針對不同的實驗，以真空退火爐為例來說，真空退火爐可以用于不銹鋼、磁性材料的熱處理，不銹鋼光亮退火、真空釬焊和真空燒結等。真空燒結爐則可用于氮化硅、碳化硅、陶瓷燒結，模具加工等。