真空熱處理設備的真空系統，需要滿足下述三個基本要求：

       1、能迅速將設備抽至所要求的真空度。

       2、能及時地排出被處理工件和爐內結構件連續放出的氣體，以及因真空泄露而滲入爐內的氣體。

       3、使用操作、安裝、維修保養要簡便，整個系統占地面積要小。

       真空熱處理爐的真空系統，一般由真空泵、真空閥門、真空測量儀表、冷阱、管道等部分組成。根據設備的使用技術條件和所要求的真空度，選擇適合的真空泵。再根據真空泵的類型、規格選配相應的真空閥門、真空管道等，從而組成所需要的真空系統。一般被抽容積與真空泵的抽氣速度有相應的關系，當確定真空熱處理爐的容積后，便可查出相應的抽氣速率，再由此選用真空泵。