真空滲碳熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空等，實際也屬于氣氛控制熱處理。

       該處理方式是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，可以實現常規熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質量大大提高。與常規熱處理相比，真空滲碳熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。

       而且真空滲碳熱處理的價格高是因為設備貴，耗能多；每爐重量小是因為真空腔體小，容易抽真空；該方式處理后的工件比普通熱處理工件在抗氧化和耐腐蝕性方面都要強一些，且微觀結構更為致密。